Крупный прорыв в производстве оптоэлектронных микросхем: китайские ученые впервые получили наноразмерные световые 3D-структуры

14 сентября ведущий мировой академический журнал Nature опубликовал крупный прорыв в области производства оптоэлектронных микросхем нового поколения, сделанный исследовательской группой под руководством Чжан Юна, Сяо Миня и Чжу Шайнина из Нанкинского университета.

Эта новая технология преодолевает предел дифракции света традиционных фемтосекундных лазеров и уменьшает размер трехмерной структуры светогравированного ниобата лития с традиционного порядка 1 микрона (что эквивалентно одной пятой части волоса) до наноуровня и выше. до 30 нанометров, что значительно повышает точность обработки.

Применение его в области квантовой оптики может обеспечить эффективную генерацию квантовой запутанности с большой размерностью и узкой шириной линии; в области электроники это может способствовать разработке высокопроизводительных наноэлектронных устройств с ферроэлектрическими доменными стенками, таких как перезаписываемая энергонезависимая память большой емкости; в области акустики нанопериодические сегнетоэлектрические доменные структуры могут использоваться для сверхвысокочастотных акустических резонаторов и фильтров. Технология поляризации фемтосекундного лазера может быть дополнительно применена к другим сегнетоэлектрическим кристаллам, включая кристаллы танталата лития, фосфата калия и титана и т. д., и способствовать разработке высокопроизводительных трехмерных оптических, акустических и электрических интегрированных устройств.

Исследовательская работа была поддержана Национальной ключевой программой исследований и разработок Министерства науки и технологий, Национальным фондом естественных наук Китая, Государственной ключевой лабораторией физики твердого тела и Совместным инновационным центром науки и технологии искусственной микроструктуры.